StraDex f
StraDex f zur Messung von Beschichtungsstärke
Optischer Sensor als berührungslose Alternative für Messungen von Schichten/ Beschichtungen und Profilen
Mit den StraDex f-Sensoren können Dicken von mehreren Schichten und Beschichtungen auf unterschiedlichen Substraten mit höchster Genauigkeit optisch und dadurch berührungslos vermessen werden. Hierbei sind sogar Stärken bis runter auf 5 µm (bei typischen Polymerschichten) messbar. Die Wiederholbarkeiten liegen bei 10/100 nm je nach verwendetem Sensortyp. Aufgenommen werden die Daten in Form einer Linie oder als Fläche. Durch die gleichzeitig erfassten Abstandsinformationen zur Oberfläche lassen sich auch Verbiegungen (Bow/ Warp) des Objektes vermessen.
Der kompakte Sensor wird beispielsweise bei vielen Kunden auch in der Produktion eingesetzt, um kontinuierlich die gewünschten Parameter inline in der Produktion zu vermessen.
Durch den flexiblen -Datenstandard, lassen sich die Messergebnisse sowohl mit der leicht bedienbaren Systemsoftware StratoSpect, als auch mit einer Drittanbieter-Software evaluieren.
Metrologie:
- Beschichtungsstärken > 5 µm
- Durchbiegung (Bow/ Warp), Ebenheit
- Objektdicke (Halbleiter, Polymer, Glas)
Eigenschaften:
- Schichten und Beschichtungen von wenigen µm bis 0.8 mm
- StraDex f2 – 80: Minimale Schichtdicke von 5 µm (Polymer) oder 2.5 µm (Silizium)
- StraDex f24 – 300: Maximale Schichtdicke* von 0.8 mm (Polymer) oder 0.35 mm (Silizium)
- Wiederholbarkeiten: 10/ 100 nm (je nach Model)
- Max. Aufnahmerate: 4000 Messpunkte pro Sekunde
- Sehr kompakte Bauweise
- Bedienerfreundliche Software: TopoSpekt, TopoLine
- Optional: Integrierbar an externe Traversierung oder Automatisierungsanlage
* Dickere Schichten sind messbar aber reduzieren deutlich die Aufnahmeraten
