Neuer Dünnschichtsensor StraDex t10
StraDex t6 zur Messung von dünnen Schichten
Optischer Sensor zur berührungslosen Inline-Messung von dünnen Folien und Beschichtungen
Die StraDex t-Serie wurde zur berührungslosen Messung von transparenten Folien bzw. Beschichtungen von Wafern/ Halbleitern entwickelt. Die Sensoren erlauben die Ermittlung von Schichtdicken bis runter auf 200 nm. Hierbei werden bis zu 4000 Messpunkte pro Sekunde ermittelt, so dass komplette Schicht-Profile in kurzer Zeit erstellt werden können.
Dies wurde mit Hilfe einer schnellen interferometrischen Aufnahmetechnologie und den entsprechenden effizienten Kalkulationsalgorithmen erreicht.
Bei dem Einsatz einer x/y – Stage innerhalb des SemDex Gesamtsystems ist die Prüfung von dünnen Schichten in einem 2D-Bereich möglich.
Metrologie:
- Dünne Schichten > 0.2 µm
Eigenschaften:
- Kontaktfreie Messung
- Schichtdickenbereich: 0.3 – 15 µm
- Schnelle und robuste Messung 4 kHz Wiederholbarkeitsrate
- Wiederholbarkeiten: bis 1 nm
- Universell einsetzbar mit min. 10 mm Arbeitsabstand Fokussierung über 5 mm Höhe
- Sehr kompakte Bauweise
- Bedienerfreundliche Software: StratoSpect
