SemDex 151 mit angeschlossenem Laptop zur direkten Darstellung der Messergebnisse.
SemDex 151
Semi-Automatisches Table- Top Wafer-Inspektionssystem mit integrierter optischer Metrologie für unterschiedliche Anwendungen
Metrologie:
Eigenschaften:
- Manuelles Beladen, automatische Vermessung
- Kompaktes Tischgerät mit optimiertem Footprint
- Bis zu 150 mm (6") Wafer oder Polymer-Objekte messbar
- Framed und unframed Wafer
- Single Sensorkonfiguration (optional Zusatz-Sensor)
- Optionale Vakuum- Chucks
- Optional integrierte Vakuumerzeugung zur Waferfixierung
- Optional mit hochauflösender CMOS – Kamera
- Luftgefederte, verwindungssteife Messplatte für erschütterungsfreien Messbetrieb
- Integrierte Kalibrationskörper im Chuck
- Als beschichtetes Stahlgehäuse erhältlich
- Bedienerfreundliche Software: WaferSpect
Branchen / Anwendungsgebiet: