SemDex 295
Kosteneffektives Table-Top System für Bow / Warp- und Schichtdickenmessungen
Metrologie:
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Eigenschaften:
- Einfaches manuelles Beladen
- Automatische Vermessung
- Schichtdicken- und Bow / Warp-Messung in einem Schritt
- Kompaktes Gerät mit optimiertem Footprint
- Hohe Datenaufnahme durch Rotationsstage
- Bedienerfreundliche Software: WaferSpect/ StratoSpect
Branchen / Anwendungsgebiet: