StraDex f
Optischer Sensor als berührungslose Alternative für Messungen von Schichten/ Beschichtungen und Profilen
Metrologie:
- Beschichtungsstärken > 5 µm
- Durchbiegung (Bow/Warp), Ebenheit
- Objektdicke (Halbleiter, Polymer, Glas)
Eigenschaften:
- Schichten und Beschichtungen von wenigen µm bis 0.8 mm
- StraDex f2 – 80: Minimale Schichtdicke von 5 µm (Polymer) oder 2.5 µm (Silizium)
- StraDex f24 – 300: Maximale Schichtdicke* von 0.8 mm (Polymer) oder 0.35 mm (Silizium)
- Wiederholbarkeiten: 10/ 100 nm (je nach Model)
- Max. Aufnahmerate: 4000 Messpunkte pro Sekunde
- Sehr kompakte Bauweise
- Bedienerfreundliche Software: TopoSpekt, TopoLine
- Optional: Integrierbar an externe Traversierung oder Automatisierungsanlage
* Dickere Schichten sind messbar aber reduzieren deutlich die Aufnahmeraten
Branchen / Anwendungsgebiet:



