Optische Inspektion und Muster-Erkennung

Um zur Inspektion der relevanten Strukturen diese überhaupt zu finden (field of interest), bietet ISIS sentronics eine hochauflösende Kamera integriert in ein SemDex Wafer Inspektionssystem an, mit deren Hilfe diese Strukturen auf dem Bildschirm erkennbar werden. Ebenso eignet sich das Kamera-Bild zur automatischen Muster-Erkennung, da selbst nach robotergeführter Positionierung immer eine laterale Restunsicherheit für nachfolgende Wafer bleibt. Nach Identifikation des gewünschten Messfeldes übernehmen die Sensoren dann die Vermessung des Areals.