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StraDex f

StraDex f

用于厚度从几个µm到0.8 mm之间的薄层和涂层
StraDex f
StraDex f
用于厚度从几个µm到0.8 mm之间的薄层和涂层
StraDex f
StraDex f
StraDex f
Very compact construction
StraDex f

StraDex f用于测量涂层厚度

作为非接触式光学传感器用于测量薄层/涂层以及轮廓

通过StraDex f传感器能够对多层薄层以及不同基底材料构成的涂层进行具有最高精度的光学、非接触测量。甚至可以测量最小可达5 µm的厚度(典型的聚合物层)。重复率依据所采用的不同的传感器类型可达10/100 nm。数据将以直线或平面形式被记录下来。通过同时所计算出的与表面之间的间距信息,也可测量出物体的翘曲度(Bow/ Warp)。

紧凑型传感器被广泛应用于生产当中,以便能够随时在生产线上获得所需的参数。

由于具备灵活的数据标准,因此测量结果既可以通过操作简便的系统软件StratoSpect,也可以通过第三方软件进行评估。


测量范围:

  • 涂层厚度 > 5 µm
  • 弯曲/翘曲(Bow/ Warp),平整度
  • 物体厚度(半导体、聚合物、玻璃)

属性:

  • 薄层和涂层厚度从几个µm到0.8 mm
  • StraDex f2 – 80: 最小薄层厚度为5 µm (聚合物) 或2.5 µm (硅)
  • StraDex f24 – 300: 最大薄层厚度*为0.8 mm (聚合物) 或0.35 mm (硅)
  • 重复率: 10/ 100 nm (依据不同的型号)
  • 最大记录率:每秒钟4000个测量点
  • 极其紧凑的构造
  • 用户友好型软件:TopoSpekt, TopoLine
  • 选件:可集成于外部桁架或自动化设备上

*也可测量厚度更高的薄层,但是记录率将会明显降低